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小行程纳米级运动台及热相关滞回数据测量方法,属于高端装备技术领域。左双极电磁铁的定子组件及两个尺蠖电机的定子组件均固定在左基础框架上,左双极电磁铁的动子组件及两个尺蠖电机的动子均固定在平台运动部件的左侧面;右双极电磁铁的动子组件固定在平台运动部件的右侧面,右双极电磁铁的定子组件固定在右基础框架上;平台运动部件固定装在气浮导轨的导套上;左、右双极电磁铁的定子组件内分别固定有电涡流传感器和霍尔传感器。方法是:温度设定;产生位移;工装固定;数据采集;数据计算处理;重复步骤一到步骤五,完成运动台在运动过
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113029235 B
(45)授权公告日 2021.09.10
(21)申请号 202110213939.6 CN 103427704 A,2013.12.04
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