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一种载有环形缝隙的衬底集成波导重入式谐振腔微波传感器，谐振腔体由上下两层介质基板叠加而成，每层介质基板中有阵列分布的金属化通孔，用于形成谐振腔的外侧金属壁以及内部电容柱。下层介质基板的顶层金属层被蚀刻出一条环形缝隙，上层介质基板中心位置存在一个凹槽，凹槽的中心区域用于装载微流控芯片。为了精确建立传感器的等效电路模型和液体介电常数的定量预测模型，本发明将环形缝隙引入到普通重入式谐振腔内部，抑制重入式腔体内部电容柱周围的边缘电场，同时使电容柱与腔体顶部之间的间隙区域的电场更加集中，在保留普通重入式腔
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113049882 B
(45)授权公告日 2022.04.19
(21)申请号 202110271691.9 CN 107578977 A,2018.01.12
(22)
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