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本发明公开了一种由莪术醇合成的磺酸锍盐类光产酸剂，涉及光产酸剂领域，该光产酸剂的结构式为：R1选自和R2选自氟代烷基或者氟代环烷基，且R2结构中的部分亚甲基可以被酯基、醚、羰基或者碳酸酯基取代。该光产酸剂能够降低光产酸剂的扩散，有利于改善边缘粗糙度，减小线宽粗糙度，提高分辨率；亲水亲油平衡，既具有一定的粘附性，又可以在溶剂中均匀溶解，有利于成像；在193nm波长的光源下吸收低，更加透明，有利于光刻胶在193nm波长光源下的曝光，并且具有优良的耐刻蚀性能；合成方法简单。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113045537 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202011541788.9
(22)申请日 2020.12.23
(71)申请人 上海博栋化学科技有限公司
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