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本发明提供了一种高可靠性的电容式RFMEMS开关，包括基底、设于基底内部的驱动部件、设于基底上的滑动部件以及设于基底内的传输部件，滑动部件由驱动部件驱动运动，传输部件包括输入部和输出部，滑动部件于输入侧和输出侧之间运动。本发明提供的高可靠性的电容式RFMEMS开关，将传统的悬臂梁式的电容开关改为面内滑动式，利用滑动部件与传输部件之间耦合电容的变化，实现射频信号的通断，避免了由粘附力、冲击损伤、表面效应等引起的粘附失效问题，能够实现较高的使用寿命。同时，水平驱动方式可实现驱动部件与传输部件的空
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113035650 B
(45)授权公告日 2021.09.07
(21)申请号 202110570777.1 (51)Int.Cl.
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