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本申请提供一种扫描装置的调整方法、检测设备及计算机可读存储介质。调整方法包括:获取步骤:对工件扫描成像以获取工件的第一图像;处理步骤:对第一图像进行处理,以获取第一图像中第一方向轮廓与扫描装置的扫描方向之间的第一角度、及第一图像中第二方向轮廓与扫描装置的扫描方向之间的第二角度,第一方向轮廓与第二方向轮廓相交;计算步骤:根据第一角度及第二角度获取扫描装置的旋转角;调整步骤:在旋转角位于预设范围外时,根据旋转角调整扫描装置的扫描视场的长度方向与扫描方向之间的角度。本申请的调整方法中,根据第一角度及第
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113052822 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110324750.4
(22)申请日 2021.03.26
(71)申请人 深圳中科飞测科技股份有限公司
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