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薄膜晶体管及其制造方法、包括薄膜晶体管的显示设备.pdfVIP

薄膜晶体管及其制造方法、包括薄膜晶体管的显示设备.pdf

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    公开了一种薄膜晶体管、包括薄膜晶体管的显示装置和用于制造薄膜晶体管的方法。薄膜晶体管，包括：有源层；以及栅电极，栅电极与有源层间隔开并且被构造成具有与有源层交叠的至少一部分，其中，有源层包括：硅半导体层；以及与硅半导体层接触的氧化物半导体层，其中，硅半导体层的至少一部分和氧化物半导体层的至少一部分与栅电极交叠。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113054034 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202011551240.2 G02F 1/1362 (2006.01)

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