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本申请涉及集成电路设计领域,具体涉及一种光学邻近效应修正中散射条的嵌入方法,包括以下步骤:获取集成电路上主图形的数据;根据所述数据依次插入虚拟图形以及散射条;根据所述散射条的长度和宽度筛选出产生多余图形的散射条;将筛选出的所述散射条截断成若干散射条段;执行光学邻近效应修正的步骤。通过将产生多余图形的散射条进行截断,大大降低了多余图形的曝出率,同时还提高了主图形的分辨率,提高了产品的良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113031388 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202110218077.6
(22)申请日 2021.02.26
(71)申请人 广东
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