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本发明的目的在于提供一种槽加工头的集尘机构以及槽加工装置,将集尘罩的结构设为提高抽吸的空气的流速的结构,能够更有效地在划线加工时产生的粉尘附着于基板的表面之前去除粉尘。其具备:槽加工头(16),具备工具架(18),该工具架(18)在左右方向上排列保持多个将刀尖朝向下方的工具(17);集尘罩(20),设置在槽加工头(16)的下部,并与空气一起吸引使用工具(17)对基板(W)进行刻划时所产生的粉尘;管道(21),供来自集尘罩(20)的空气通过;以及集尘机,吸引通过管道(21)的空气并收集粉尘,在槽加
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113021659 A
(43)申请公布日 2021.06.25
(21)申请号 202011355832.7
(22)申请日 2020.11.26
(30)优先权数据
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