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本发明属于切削刀具加工制造技术领域,具体涉及一种纳米晶非晶复合涂层及其制备方法。本发明利用增强磁控溅射技术,制备具有纳米晶和非晶复合的AlCrSiCN涂层,该复合涂层由粒径10~50nm尺度的纳米晶和围绕纳米晶分布的非晶相构成,因此纳米尺度的晶粒保证涂层具有足够的硬度,而非晶层则具有良好的塑性,且大量的纳米晶与非晶界面可增加微裂纹扩展的阻力,故涂层具有高硬度(28~35GPa)、高韧性和优异的耐磨性能,并保持AlCrN的优异抗高温性能,使涂层具有优良的强度和结合强度,同时Si、C的掺杂一方面细化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113025979 B
(45)授权公告日 2022.06.03
(21)申请号 202110219879.9 C23C 14/06 (2006.01)
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