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一种目标体积排空系统包括涡轮压缩机和真空泵，该系统在第一配置中可操作以将目标体积压力从环境压力减小到例如在200mbar与50mbar之间的第一中间压力，并且在第二配置中可操作以将压力从例如10mbar的第二中间压力进一步减小到例如在0.1mbar与1mbar之间的目标局部真空。涡轮压缩机可以电力驱动或通过燃料燃烧驱动，并且可以是常规的或改进的涡轮喷气发动机。多个涡轮压缩机可从并联运行过渡到串联运行。通过将目标体积排出到吊杆罐体积和/或通过将涡轮压缩机系统配置成提供对真空泵送系统的支持，压力可从
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113056610 B
(45)授权公告日 2023.03.31
(21)申请号 201980074548.1 (73)专利权人 福斯管理公司
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