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高频非接触式双轴振动台.pdfVIP

高频非接触式双轴振动台.pdf

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    本发明提供了一种高频非接触式双轴振动台，包括隔振基座、激振装置、升降装置以及功能杆机构，所述升降装置包括底部升降机构以及载物台机构，所述激振装置、底部升降机构均安装在隔振基座上；所述载物台机构磁力悬浮于所述底部升降机构的上方并通过所述功能杆机构连接所述激振装置，其中，所述激振装置能够驱使所述载物台机构在所述底部升降机构的上方沿第一方向和/或第二方向运动，所述第一方向垂直于所述第二方向，本发明通过设置互斥的磁体对实现光学载物平台垂直方向非机械接触式磁悬浮，并通过直驱杆组件传递振动进而实现光学载物平

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113049204 B (45)授权公告日 2022.05.17 (21)申请号 202110332843.1 H02K 7/065 (2006.01)

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