- 1、本文档共13页,其中可免费阅读12页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请提供一种半导体结构及其形成方法,使所述半导体结构在高压器件区的栅氧化层大部分嵌入所述半导体衬底中,从而使高压器件区与非高压器件区在形成栅氧化层之后具有接近水平的表面。所述半导体结构的形成方法,包括:提供半导体衬底,所述半导体衬底中形成有多个隔离结构,所述半导体衬底表面依次形成有衬垫氧化层和掩膜层,所述掩膜层具有第一开口,所述第一开口对应于所述隔离结构之间的半导体衬底以及部分隔离结构;去除所述第一开口暴露出的衬垫氧化层;刻蚀所述半导体衬底,使所述隔离结构之间的半导体衬底形成类∑形状的凹陷部;
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113053816 B
(45)授权公告日 2022.08.26
(21)申请号 201911378954.5 (51)Int.Cl.
您可能关注的文档
- 设备排序方法、装置和系统以及计算机可读存储介质.pdf
- 一种用于电力设备的导线夹紧固定装置.pdf
- 一种轴承装配结构.pdf
- 一种具有延伸功能的电力抢修装置.pdf
- 情绪识别及管理方法、计算机程序及电子装置.pdf
- 一种节能型一体化智慧路灯.pdf
- 交通疏导方法、装置、服务器及存储介质.pdf
- 一种图像来源追踪方法、装置、存储介质及电子设备.pdf
- 一种倾转旋翼无人机桨叶优化方法.pdf
- 辅片、钉仓组件及包皮环切吻合器.pdf
- 四川省德阳市罗江中学2025届高三考前热身化学试卷含解析.doc
- 山东省枣庄现代实验学校2025届高三下学期第五次调研考试化学试题含解析.doc
- 吉林省长春市十一高中等九校教育联盟2025届高三一诊考试生物试卷含解析.doc
- 2025届江苏省盐城市伍佑中学高考仿真模拟化学试卷含解析.doc
- 2025届广西贺州中学高考冲刺押题(最后一卷)生物试卷含解析.doc
- 安徽省池州市贵池区2025届高三第一次模拟考试生物试卷含解析.doc
- 宁夏银川一中2025届高三(最后冲刺)化学试卷含解析.doc
- 广东省广州市增城区四校联考2025届高考压轴卷化学试卷含解析.doc
- 2025届邯郸市第一中学高考生物必刷试卷含解析.doc
- 2025届安徽省安庆市石化第一中学高考仿真卷化学试卷含解析.doc
文档评论(0)