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本公开提供一种腔室装置,包括:壳体,其内部限定有空腔;第一阀,设置于壳体的第一侧部,且配置成在关闭状态与连通至第一压力环境或第二压力环境的开启状态之间切换;切换装置,固定至所述壳体,且配置成将所述第一阀与第一压力环境或第二压力环境的入口对准,第二阀,设置于壳体的与第一侧部相对的第二侧部,且配置成使得空腔与第一压力环境连通或断开,和压力调节装置,设置在壳体上与空腔连通,且配置成将空腔内的压强调节为与第一压力环境或第二压力环境实质上相同的压强,所述腔室装置还包括设置于空腔内部的晶片支撑装置,所述晶片
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113035758 B
(45)授权公告日 2022.06.24
(21)申请号 202011639567.5 H01L 21/67 (2006.01)
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