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用于确定半导体制造过程的事件的根源并且用于监测半导体制造过程的方法.pdfVIP

用于确定半导体制造过程的事件的根源并且用于监测半导体制造过程的方法.pdf

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    描述了一种用于设计、配置和/或编辑表示与半导体制造过程相关联的控制策略的控制流程的用户接口，该用户接口包括：控制元素库，至少包括表示模拟任务的控制元素，并且每个控制元素能够由用户选择；控制流程编辑器，被配置为将上述控制元素组织成表示控制策略的控制流程；以及通信接口，用于将控制流程传送给被配置为评估控制流程的计算引擎。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113056712 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 201980075994.4 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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