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本发明公开了一种能量调节装置、能量调节方法、照明系统以及光刻机。该能量调节装置包括:匀光单元、光强调节单元、光强测量单元以及控制单元,光强调节单元和光强测量单元分别于控制单元连接;匀光单元包括相对设置的入射端和出射端,以及连接入射端与出射端的侧壁;匀光单元的至少部分侧壁被光强调节单元包覆;光强测量单元用于测量匀光单元的出射端的实际光强,并反馈至控制单元;控制单元用于调节光强调节单元和/或匀光单元,以调整匀光单元与光强调节单元中的调光介质的接触面积,以使实际光强等于需求光强。本发明的技术方案,可简
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113050378 B
(45)授权公告日 2022.06.17
(21)申请号 201911379586.6 (56)对比文件
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