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本发明提供了一种对准标记图像制作方法、对准标记测量方法及测量装置，其中，对准标记图像制作方法中首先获取包含目标对准标记的图像，然后截取包含目标对准标记的目标区域，生成子图，并计算目标对准标记的尺寸，最后绘制对准标记图像。对准标记测量方法中首先采用如上所述的对准标记图像制作方法，基于金属掩模上的一目标对准标记制作对准标记图像，并获取金属掩模的图像，然后将金属掩模的图像与对准标记图像进行比对，筛选出所有与目标对准标记相匹配的对准标记，最后计算各个对准标记的位置。本发明中的对准标记测量方法通过在线制作
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113048905 B
(45)授权公告日 2022.08.19
(21)申请号 201911380080.7 (56)对比文件
(22)申请日 2019.12.27
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