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用于调整遮罩的布局图案的方法.pdfVIP

用于调整遮罩的布局图案的方法.pdf

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    一种用于调整遮罩的布局图案的方法，包括基于遮罩空白板的多个缺陷的讯息来位移或旋转整个布局图案，以避免当在遮罩空白板上产生作为遮罩的布局图案时，多个缺陷中的第一缺陷的影响。此方法包括基于多个缺陷中的其余的第二缺陷的讯息，在第一位置处调整遮罩的布局图案，以在将布局图案投影到晶片上时减小第二缺陷的影响。此方法还包括基于与第二缺陷不同的多个缺陷中的其余的第三缺陷的讯息，在第二位置处调整遮罩的布局图案，以在将布局图案投影到晶片上时移动第三缺陷的影响位置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113050370 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202110120841.6 (22)申请日 2021.01.28 (30)优先权数据

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