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本发明提供了一种柔性多维触觉传感器及其制备方法,包括多个传感单元;所述传感单元包括一柔性衬底、第一压阻单元及第二压阻单元;所述柔性衬底的中部向上凸起一半球形的凸部;所述第一压阻单元设置于所述凸部的上方且贴合所述凸部的外表面设置;多个所述的第二压阻单元以所述凸部所在位置为中心沿中心对称设置于所述凸部的周围;当传感单元受到法向力时,凸部的结构发生法向形变,凸部的顶部的第一压阻单元产生不一样的阻值变化;当传感单元受到切向力时,所述第二压阻单元产生不一样的阻值变化,根据电阻值的变化,得出传感单元受到的力
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113049167 B
(45)授权公告日 2022.03.04
(21)申请号 202110240606.2 审查员 潘如琴
(22)申请日 2021.03.04
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