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本发明公开了一种三维结构的射频电感及其设计方法,包括在上下方向上至少设有的第一硅衬底层和第二硅衬底层,以及在所述第一硅衬底层顶部设有的第一平面螺旋金属带层和在所述第二硅衬底层顶部设有的第二平面螺旋金属带层,所述第一平面螺旋金属带层由外圈向内圈顺时针旋转的尾端与第二平面螺旋金属带层由外圈向内圈顺时针旋转的尾端通过贯通所述第一硅衬底层的第一硅通孔电连接。本发明使上层和下层电感结构的电场方向相反,相互抵消,提高趋肤深度,提高电感材料的利用率,达到提高品质因数Q降低功耗的目的。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113053622 B
(45)授权公告日 2022.06.24
(21)申请号 202110290215.1 (56)对比文件
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