声波谐振器制作方法及声波谐振器.pdfVIP

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2023-06-12 发布于四川
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声波谐振器制作方法及声波谐振器.pdf

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本申请涉及一种声波谐振器制作方法及声波谐振器，在压电晶圆衬底上制备第一叠层，将第一叠层远离压电晶圆衬底的一侧键合到承载晶圆上，然后对压电晶圆衬底远离第一叠层的一侧进行减薄后制备第二叠层，形成声波谐振器。通过该方法制成的声波谐振器，第二叠层、压电晶圆衬底、第一叠层和承载晶圆层叠设置，承载晶圆起到承载作用，压电晶圆衬底减薄而形成的压电薄膜可以被激发声振动，第一叠层和第二叠层可以传输电信号和束缚声波信号，使得到的声波谐振器能够在高频下工作，声波谐振器具有特定的层叠组合和压电薄膜,可以激发和支持高性能的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113054941 A (43)申请公布日 2021.06.29 (21)申请号 202110174256.4 (22)申请日 2021.02.09 (71)申请人偲百

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