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本发明属于光纤传感技术领域，提供了一种光纤法布里—珀罗真空计的制作方法。光纤法布里‑珀罗真空计由入射光纤、反射光纤和带有微孔的毛细管组成。与传统真空计相比，光纤法布里—珀罗真空计具有体积小、结构简单、灵敏度高、抗电磁干扰及温度交叉影响小的优点，并可以实现对真空度的直接测量；通过CO2激光对光纤与毛细管进行焊接，提高了光纤法布里‑珀罗真空计的机械强度和长期稳定性，并降低了其温度交叉灵敏度；采用超快激光加工技术对石英毛细管进行打孔，保证了孔的均匀性和石英毛细管的机械强度。本发明为复杂环境下的真空度监
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113049181 A
(43)申请公布日 2021.06.29
(21)申请号 202110319129.9
(22)申请日 2021.03.25
(71)申请人 大连理工大学
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