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本发明公开了一种采用单塔的制氩方法；包括以下步骤：S1，将原空气送入空气过滤器，经过过滤和空压机的加压，之后进入空冷系统冷却液化，在经过纯化系统进行纯化分解，将纯化的混合液送入制氩机构；S2，经过步骤S1之后，混合液进入第一粗氩罐，在第一粗氩罐内进行分馏，并且经过第一粗氩罐进入第二粗氩罐，在第二粗氩罐和第一粗氩罐之间进行循环，去除杂质气体；S3，经过步骤S2之后，粗氩液进入到精氩罐，在精氩罐内进行精馏提纯，提纯后的液氩通过液氩槽进行收集；S4，在步骤S1‑S3的过程中，故障检测系统通过数据采集模
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113074516 B
(45)授权公告日 2022.07.22
(21)申请号 202110484364.1 审查员 罗丹辰
(22)申请日 2021.04.30
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