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送取样装置及方法.pdfVIP

送取样装置及方法.pdf

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    本发明公开了一种送取样装置及方法，其中，送取样装置包括：反应室，用于衬底的外延生长；真空室，包括真空腔，所述真空腔被抽真空至设定的真空度，所述真空室通过第一密封门和所述反应室连接；预热室，用于对石墨托盘上的衬底预热，所述预热室通过第二密封门和所述真空室连接；送样室，用于送取石墨托盘，所述送样室通过第三密封门和所述真空室连接；机械手，设置在所述真空室内，用于在所述送样室、所述预热室和所述反应室之间搬运石墨托盘。本发明的衬底升降温时间短、衬底放样和取样速度快、生产效率高。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113089097 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 20191

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