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本发明涉及一种极薄铼箔的制造方法。包括如下步骤:将粒度为‑100~‑300目、纯度4N以上的铼粉置于压力机中,在压力100~200Mpa下制成厚度为10mm的纯铼压坯;将纯铼压坯置于真空炉或高温炉中,进行高温烧结,制备出结晶均匀的纯铼板坯;对纯铼板坯采用多辊轧机和退火联动的连续化轧制,进行连续化轧制与退火直到得到铼薄片材;将铼薄片材采用化学刻蚀减薄与多辊轧机精轧并行的联合轧制流程,最终获得目标产品厚度为9~11微米的极薄铼箔。本发明的方法具有效率高,表面质量好,设备投资省等优点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113058999 B
(45)授权公告日 2022.05.10
(21)申请号 202110365513.2 B22F 3/16 (2006.01)
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