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2023-06-13 发布于四川
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一种基于MEMS谐振器耦合振子的声子频率梳生成方法.pdf

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本发明公开了一种基于MEMS谐振器耦合振子的声子频率梳生成方法，通过增加两个梁的耦合电压使得两个静电耦合的梁发生耦合，当低频谐振梁振幅为6.5～7mV时，将出现内共振现象，此时以内共振频率频率的三倍定频激励高频谐振梁，而在以内共振频率为中心1～40Hz的范围内定频激励低频谐振梁，低频谐振梁的频率响应将呈现等间距的谱线，本发明摆脱了产生声子频率梳时MEMS谐振器中需存在多个强耦合模态的限制，降低了产生频率梳的条件。同时，梳状区域的带宽由激励强度和耦合强度调节。通过改变低频谐振梁或高频谐振梁的激励频

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113098427 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110320632.6 (22)申请日 2021.03.25 (71)申请人西安交通大学地址

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