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金属互连线的自限制效应阈值的确定方法及其确定装置.pdfVIP

金属互连线的自限制效应阈值的确定方法及其确定装置.pdf

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    本申请提供了一种金属互连线的自限制效应阈值的确定方法及其确定装置，自限制效应阈值为金属互连线的电迁移临界值，该方法包括：获取多个不同的第一参数值和多个不同的第二参数值，第一参数值为金属互连线的长度与金属互连线的电迁移寿命的比值，第二参数值为金属互连线的电流密度与长度的乘积；根据多个第一参数值和多个第二参数值，构建第一参数值和第二参数值的函数关系；根据函数关系，确定预定材料的自限制效应阈值，自限制效应阈值为第一参数值为0时对应的第二参数值，金属互连线由预定材料构成，在金属互连线的第二参数值小于自限

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113065308 B (45)授权公告日 2022.08.09 (21)申请号 202110296965.X G06F 17/15 (2006.01)

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