三轴微机械陀螺仪及角速度的测量方法.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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三轴微机械陀螺仪及角速度的测量方法.pdf

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本发明提供了一种三轴微机械陀螺仪及角速度的测量方法，包括基底、与基底连接且悬置于基底上的振动部、驱动振动部的驱动电极以及与振动部连接的检测部，振动部包括用于接受哥氏力并产生位置变化的振动组件，振动组件包括两两对称分布且互相连接的四个质量块，四个质量块能够在所述驱动电极的驱动下在平行于基底的平面内进行摆动，每一质量块的摆动中心位于质量块之外，当三轴微机械陀螺仪接收到角速度时，摆动的质量块受到哥氏力并产生相应的位置变化，检测部用于检测每一质量块在受到哥氏力后的位置变化，并将各质量块的位置变化转换成电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113091722 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110362578.1 (22)申请日 2021.04.02 (71)申请人瑞声开泰科技(武汉)有限公司

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