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一种水下双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，包括以下步骤：1)，将待清洗基板固定在三维移动平台上，将第一脉冲激光束和第二脉冲激光束聚焦到水箱内同一点，移动三维移动平台使待清洗基板表面位于双束脉冲激光聚焦点正上方；2)，利用第一脉冲激光束和第二脉冲激光束聚焦在待清洗基板表面上方诱导液体击穿产生等离子体冲击波，在冲击波去除力的作用下，待清洗基板表面上的微纳米颗粒污染物从待清洗基板表面飞离。本发明提供一种水下双束脉冲激光诱导冲击波清洗微纳米颗粒方法，能有效提高基板的清洗面积与清洗效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113058935 A
(43)申请公布日 2021.07.02
(21)申请号 202110482169.5
(22)申请日 2021.04.30
(71)申请人 浙江工业大学
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