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本发明公开了一种滤波器的制备方法、滤波器。滤波器的制备方法包括：提供衬底，所述衬底包括中心区和环绕所述中心区的边缘区；形成位于所述衬底中心区的至少两个薄膜谐振器单元；形成覆盖所述薄膜谐振器单元的空腔牺牲层；在所述空腔牺牲层远离所述衬底的表面生长形成封装层，所述封装层覆盖所述空腔牺牲层和所述衬底的边缘区；释放所述空腔牺牲层以形成空腔。本发明实施例能够节约滤波器生产时所需的材料，减少生产周期，节约成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113098417 B
(45)授权公告日 2022.04.22
(21)申请号 202110341609.5 (51)Int.Cl.
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