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本发明提供了一种检测模式可切换的高精度、大量程加速度传感器及其控制方法，该加速度计工作平面层包括一个敏感质量块、三个谐振器，其中两侧的谐振器包括一个惯性力放大杠杆结构和一组差分梳齿驱动检测结构，相邻谐振器之间由等间距平板电容提供静电力构成静电耦合。当加速度较小时，由电路控制三个谐振器处于不同电位，使得三个谐振器间产生静电耦合构成模态局部化检测模式，通过振幅比检测加速度，当加速度超过预设临界值时，由电路控制取消中间谐振器的电位，使得各谐振器之间不再相互耦合，处于单独谐振状态，即由模态局部化模式切换
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113092817 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110233189.9 CN 108375371 A,2018.08.07
(22)申请日 20
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