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本案揭露一种电浆调节组件与感应耦合电浆蚀刻设备。感应耦合电浆蚀刻设备包括电浆调节组件、供电装置与反应腔体,其中电浆调节组件包括介电板与线圈,且更包括分流组件。当位于介电板一侧的线圈通电产生电磁感应时,介电板的另一侧可产生电浆以对基材进行蚀刻。当线圈受到调整使线圈的内圈与外圈彼此远离或靠近,与/或分流组件连接于线圈使通入线圈的电流受到分流时,可使电磁感应的强弱受到调节,进而调节电浆密度以此调节基材受到蚀刻时的蚀刻均匀度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113078076 A
(43)申请公布日
2021.07.06
(21)申请号 20201
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