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2023-06-13 发布于四川
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一种提高亮度的LED外延片的制作方法.pdf

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本发明提供了一种提高亮度的LED外延片的制作方法，所述LED外延片的AlN层上设有按顺序依次循环排列的凸起的圆锥体、铝区域层以及凹陷且倒置的圆锥腔，三者之间互不相连；所述制作方法包括以下步骤，步骤3、在AlN层上间隔制作多个凸起的圆锥体；步骤4、在AlN层上间隔制作多个凹陷且倒置的圆锥腔，所述圆锥腔与圆锥体交错设置且两两不相连；步骤5、在AlN层上间隔制作多个铝区域层，每个铝区域层均与圆锥腔和/或圆锥体相邻；步骤6、在AlN层上周期性生长多个多量子阱发光层。本发明能够提升LED外延片的亮度、增强

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113097350 B (45)授权公告日 2022.07.22 (21)申请号 202110347563.8 (56)对比文件 (22)申请日 2021.03.31

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