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半导体封装结构、方法、器件和电子产品.pdf

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本申请提供一种半导体封装结构、方法、器件和电子产品。该半导体封装结构中,被封装元件一一对应地固定在衬底上的凹槽内;被封装元件的有源表面背向衬底,被封装元件与其所处凹槽之间由绝缘材料隔开,各被封装元件均具有位于其有源表面上的第一焊盘,全部第一焊盘的背向衬底的表面平齐;重布线层位于被封装元件背向衬底一侧,重布线层的第一面上形成有多个第二焊盘,重布线层的与第一面相对的第二面上形成有多个第三焊盘,第二焊盘与第一焊盘一一对应地电接触;钝化层位于重布线层背向衬底一侧;衬底由半导体材料或绝缘材料形成,衬底与被

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113078149 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110272185.1 (22)申请日 2021.03.12 (71)申请人 上海

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