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本发明涉及激光清洗技术，具体涉及一种实时检测激光清洗状态和质量的激光清洗系统及方法，本发明包括，清洗用激光器、激光清洗头、光谱收集系统、控制模块和PC机；PC机，通过线缆分别与光谱收集系统和控制模块相连接，用于接收光谱收集系统发送的光谱信息及向控制模块发送控制命令；控制模块，分别与清洗用激光器、激光清洗头、光谱收集系统相连接，用于向光谱收集系统发送采集触发信号及同时向清洗用激光器、激光清洗头发送控制命令；本发明可以安装在机械手中，对大体积样品进行移动式清洗及测量，使清洗过程及质量更精细化，同时可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113083799 A
(43)申请公布日
2021.07.09
(21)申请号 20191
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