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一种磷污染物的去除方法及装置.pdfVIP

一种磷污染物的去除方法及装置.pdf

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    本发明提供了一种磷污染物的去除方法及装置，所述方法包括：向反应腔室中通入预设气体，与所述反应腔室中氧化机台上的磷污染物进行反应，使固态的所述磷污染物变为气态；对所述反应腔室内的气体进行气体抽离。也就是说，该去除方法通过向反应腔室中通入可以与磷污染物反应的气体，二者发生反应，将固态的磷污染物变为气态，再对反应腔室内的气体进行抽离，实现清除磷污染物的目的。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113066711 A (43)申请公布日 2021.07.02 (21)申请号 202110295692.7 (22)申请日 2021.03.19 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司

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