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曝光对准的补偿方法及补偿系统.pdfVIP

曝光对准的补偿方法及补偿系统.pdf

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    本发明涉及一种曝光对准的补偿方法及补偿系统，包括：获取对准图形的原始数据；对所述原始数据进行一阶处理，以得到一阶求导数据；在所述曝光对准存在偏差时，基于所述原始数据及所述一阶求导数据得到补偿值；基于所述补偿值对曝光对准进行补偿。本发明的曝光对准的补偿方法通过对原始数据进行一阶处理得到一阶求导数据，再基于原始数据和一阶求导数据得到补偿值对曝光对准进行补偿，补偿精度较高，可以优化曝光对准的精确度。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113093485 B (45)授权公告日 2022.06.14 (21)申请号 202110362010.X (56)对比文件 (22)申请日 2021.04.02

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