基片处理方法和基片处理系统.pdfVIP

基片处理方法和基片处理系统.pdf

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本发明提供基片处理方法和基片处理系统。本发明的基片处理方法包括：对构成基片上的层叠膜的各层生成与该层相关的处理后的基片的拍摄图像的步骤；和对包含基片上的层叠膜的最表层的多个层的每一者，获取表示基于上述拍摄图像推算出的特征量的信息的步骤。本发明能够适当地设定对具有层叠膜的基片的处理条件。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113075867 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202011436803.3 (22)申请日 2020.12.10 (30)优先权数据 2019-2276

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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