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预对准装置及应用于该装置的预对准方法.pdf

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    本发明实施方式提供一种预对准装置及应用于该装置的预对准方法，预对准装置包括：承载台，承载台具有中心轴线，用于承载晶圆并带动晶圆绕承载台的中心轴线旋转；位置检测模块，位置检测模块用于检测晶圆的中心轴线相对于承载台的中心轴线的偏移矢量；控制模块，基于偏移矢量调整后一片晶圆放置在承载台上的位置；预对准模块，用于检测经由控制模块调整的晶圆的缺口位置。通过不断地检测和补偿，保证晶圆被放置的位置不会出现过大的偏差，从而保证预对准模块能检测到晶圆的缺口，防止预对准模块因找不到晶圆的缺口而导致的机台停机的现象，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113066746 B (45)授权公告日 2022.03.22 (21)申请号 202010001290.7 (56)对比文件

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