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一种用于制备多材料三维微纳结构的复合型光刻胶及其应用.pdf

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    本发明属于激光直写技术领域，更具体地，涉及一种用于制备多材料三维微纳结构的复合型光刻胶及其应用。其将自由基单体、自由基光引发剂、自由基交联剂、阳离子单体和阳离子光引发剂混合均匀，得到复合型光刻胶，然后将飞秒激光聚焦在复合型光刻胶之中，控制飞秒激光的波长、功率及加工速度，使自由基体系和阳离子体系分别聚合交联，从而形成不同材料的三维微纳结构。本发明方法只需使用一种光刻胶前驱体即可在同一微纳结构内实现多组分的高精度材料集成，且仅经过一次显影过程，操作步骤简单。同时，其控制手段稳定简便，不需要添加其他组

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113064325 B (45)授权公告日 2022.08.16 (21)申请号 202110302889.9 G03F 7/004 (2006.01)

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