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一种聚合物及包含其的光刻胶组合物.pdfVIP

一种聚合物及包含其的光刻胶组合物.pdf

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    一种聚合物及包含其的光刻胶组合物，具有如下所示的结构：其中，R为单键或C1～C12亚烷基；R1～R3各自独立地选自氢、C1～C12烷基、C3～C12环烷基或者C6～C18芳基；R4为C2～C18亚烷基；n1为3～15的整数，n2为3～15的整数，n3为3～12的整数，n4为3～13的整数，m为1～3的整数。本发明的聚合物作为添加剂应用于光刻胶组合物中，能够提升光刻胶的耐热性的同时，保证良好的显影性能。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113087843 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 20191

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