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一种绝缘栅双极型晶体管及其制备方法,绝缘栅双极型晶体管包括:半导体层,半导体层包括漂移区和位于漂移区顶部的阱区;栅极结构,栅极结构贯穿阱区且延伸至漂移区中,栅极结构具有相对的第一侧和第二侧;发射掺杂区,位于栅极结构的第一侧的阱区中部分顶部区域且与栅极结构邻接,发射掺杂区的导电类型和阱区的导电类型相反;所述栅极结构的第二侧的部分阱区中的凹槽;位于凹槽底部阱区中的欧姆接触区,欧姆接触区与栅极结构的第二侧的部分侧壁接触,欧姆接触区的导电类型和阱区的导电类型相同。绝缘栅双极型晶体管在保证阈值电压较小的同
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113097298 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110354871.3 H01L 29/10 (2006.01)
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