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本发明提供一种成膜装置，能够减少对准花费的时间来抑制节拍时间的增加，另外，能够节省成膜室的空间。本发明的成膜装置具备：在基板上进行成膜的成膜室；以及设置有用于向所述成膜室交接所述基板的输送部件的输送室，所述输送室具备用于冷却所述基板的基板冷却部。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113088871 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202011542861.4 C23C 14/50 (2006.01)

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