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本发明涉及芯片加工技术领域,具体涉及一种掩膜板的加工方法。掩膜板的加工方法包括在掩膜框的两侧分别设置数量与掩膜片数量相同的施力机构,并一一对齐;将掩膜片拉伸,同时让各个施力机构对掩膜框预施力;依次将各个掩膜片与掩膜框进行焊接,每焊接一个掩膜片后就将位于该掩膜片两侧对应位置的施力机构移开并取消其对掩膜框的预施力。本发明的有益效果在于:每对施力机构的预施力只需与其对应的一条掩膜片的的收缩力相对应,当该掩膜片完成焊接后,对应的施力机构可直接退出,剩余施力机构仍保持预施力状态,从而无需对施力机构进行模拟
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113088872 A
(43)申请公布日 2021.07.09
(21)申请号 202110195409.3
(22)申请日 2021.02.19
(71)申请人 福建华佳彩有限公司
地
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