一种柔性温压一体化传感器及其制备方法和应用.pdfVIP

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2023-06-13 发布于四川
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一种柔性温压一体化传感器及其制备方法和应用.pdf

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本发明公开了一种柔性温压一体化传感器及其制备方法和应用，涉及柔性可穿戴电子领域，包括电容器介电层及分别粘合在电容器介电层上表面和下表面的柔性电极，所述电容器介电层为多孔PDMS薄膜，所述柔性电极为图形化的金属温敏薄膜。本发明所制得的柔性温压一体化传感器与其他类似传感器相比，采用叠层结构有效地减小的传感器的大小，金属温敏薄膜既作温度传感器又作平板电容极板，使敏感材料得到了重复利用，进一步减小了传感器的制备成本，提高了制备成功率；同时金属温敏薄膜作电容极板能起到屏蔽外来磁场干扰的作用，使得温度、压力

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113091811 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110344806.2 (22)申请日 2021.03.31 (71)申请人电子科技大学地址

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