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2023-06-13 发布于四川
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本发明公开了一种气密检测工艺，包括以下步骤：S1，将一组待测产品放入腔室内，一组待测产品包括至少一个待测产品；S2，对放置待测产品的腔室以及待测产品进行抽真空；S3，向待测产品的内部充氦；S4，利用检漏仪测试腔室内的氦气漏率值，若大于设定值，则待测产品为不合格品，若小于或等于设定值，则待测产品为合格品；S5，排出待测产品内的氦气；S6，向腔室内注入氮气或干燥空气；S7，取出腔室内的待测产品。使腔室内的气压大于待测产品内的气压，减少从待测产品内部泄露到腔室内的氦气量，降低腔室的内部环境对下一组待测

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113074877 A (43)申请公布日 2021.07.06 (21)申请号 202110478988.2 (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人广东利元亨智能装备股份有限公司

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