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本发明涉及基于亚波长光栅的异质集成垂直耦合器及其应用，垂直耦合器包括绝热拉锥波导，绝热拉锥波导上设置有亚波长光栅；绝热拉锥波导的宽度从始端到末端均匀减少，绝热拉锥波导的两个侧边对称设置有亚波长光栅，亚波长光栅中光栅的长度由绝热拉锥波导的始端到末端均匀增大；绝热拉锥波导的长度为12.4‑58.9μm。本发明结合了亚波长光栅的特性，优化了绝热拉锥波导的耦合效果，使得耦合器的尺寸大大减少，并依然能保持97％以上的耦合率和100nm的带宽。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113075765 A
(43)申请公布日
2021.07.06
(21)申请号 20201
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