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本申请公开了一种支撑柱及对位机构,所述支撑柱包括一触头以及与所述触头相连的触杆,所述支撑柱内设置有半导体电堆单元与光发射单元中的至少一种;所述触头的材料为聚合胶粘剂材料,当所述触头达到指定温度或受到指定波长光照时,能够在粘性与无粘性之间可逆切换。所述对位机构利用所述支撑柱的所述触头在粘性与无粘性之间可逆切换这一特性,可以避免所述显示基板放置于所述光罩上时因震动发生微小的位移,保证了第一次对位完成与位置确认时,所述显示基板与所述光罩之间不发生水平位移,确保了对位精度,也避免了所述显示基板的多次对位
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113058767 B
(45)授权公告日 2022.05.31
(21)申请号 202110245308.2 C23C 14/54 (2006.01)
(22)申请日 2021.03
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