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本发明公开了一种驱动设备和蒸镀系统，包括主驱动电机、传动装置、调节驱动电机和控制装置；所述传动装置包括主传动机构、调节传动机构、第一抱紧机构、第二抱紧机构和传动基台，所述控制装置用于在监测到目标对象为倾斜状态时，控制所述第一抱紧机构断开、控制所述第二抱紧机构吸合、控制所述主驱动电机停止运行、控制所述调节驱动电机运行，使得所述调节驱动电机通过所述调节传动机构带动所述传动基台移动，以对所述目标对象进行水平调节，实现了在蒸镀腔室外部直接对需要调整基板基台水平度，无需在真空腔室降温后进行排气处理之后再使
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113088915 B
(45)授权公告日 2022.07.22
(21)申请号 202110341010.1 C23C 14/24 (2006.01)
(22)申请日 2021.03
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