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本发明公开一种真空直拉炉生产机构,生产机构包括第一底板,所述第一底板上设有第一支架,第一支架上设有单晶炉,单晶炉包括炉体,炉体下方设有坩埚升降转动组件,炉体上设有旋阀,旋阀上设有副室,炉体上端设有导向组件,副室上端设有转动盘,第一底板一侧设有取晶组件,取晶组件包括夹紧组件和尾托组件。本发明生产机构结构稳定可靠,硅晶棒拉直简单快捷,导向组件能够有效避免单晶炉在进行拉升时由于拉绳转动时不稳定,出现偏移现象,提高了硅晶棒同心率,提高了产品质量,在进行取晶时,夹紧组件和尾托组件可以有效的调节位置,夹紧支
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113061974 B
(45)授权公告日 2022.02.15
(21)申请号 202110308694.5 (56)对比文件
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