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气体供给构造和基板处理装置.pdfVIP

气体供给构造和基板处理装置.pdf

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    本发明提供能够调整气体的指向性的气体供给构造和基板处理装置。本公开的一形态的气体供给构造向基板处理装置的处理容器内供给气体，该气体供给构造具有：气体供给构件；以及气体喷出部，其形成于所述气体供给构件，该气体喷出部包括贯穿所述气体供给构件的多个贯通孔，所述多个贯通孔在所述气体供给构件的所述气体的出口侧汇合。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113088930 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202011627128.2 (22)申请日 2020.12.31 (30)优先权数据 2020-0016

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